超小型超音波モーター
概要
従来の超音波モータとは異なりコイル状のステータに外部から振動を伝えることによって、 ロータを回転、移動させる超音波モータの開発を行っています。 この構造の超音波モータは、 予圧用バネと吸収体が不要、構造の簡易化、小型化が容易、防水処理なしで液中動作、 中空円筒の回転動作が可能などの特徴があります。
原理
超音波振動子からの振動(屈曲波)がコイル(ステータ)に伝わり、
ステータの表面粒子が、断面図のように楕円運動をします。
粒子の楕円運動が摩擦を介して移動体(ロータ)に伝達され、波の伝播方向と逆方向に移動体が回転および移動します。
特徴
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■ シンプルな構造 ⇒ 低コスト ■ 超小型化が可能 ⇒ φ0.5mm×3mm ■ 可能な動作 ⇒ 回転、直進＋回転 |
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 回転型モータの動作 |
 回転型モータのの動作(拡大) |
機能仕様
| 最大トルク | φ1×6mmのモータで0.1μNmのオーダー |
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| 最大回転数(無負荷時) | 8000rpm |
| 周波数 | 300kHz〜500kHz |
| 駆動電圧 | 約40Vpp |
用途例
■ 携帯カメラ等のＡＦシステム ⇒ 低コスト
■ 医用応用、血管内超音波法、光学内視鏡等 ⇒ 超小型化
■ ＭＥＭＳ ⇒ 超小型化